一种基于PID调控的射频电源动态功率稳定系统及其方法

本发明公开了一种基于PID调控的射频电源动态功率稳定系统及其方法，在射频离子源中，束流大小与射频功率呈强相关关系。为确保束流稳定并优化射频功率输出，设计PID调控模块，通过负反馈调控方式动态调整射频功率，以补偿由于栅网或线圈等部件发热、等离子体负载变化及电流漂移等因素造成的功率波动，实现射频功率的精细调节。本发明涉及射频电源技术领域。该基于PID调控的射频电源动态功率稳定系统及其方法，该设计确保了射频电源能够在不同工况和故障条件下维持稳定的功率输出，并具备故障自诊断及保护功能，提高系统的可靠性和安全性。