一种基于悬浮微通道谐振的纳升级流量测量方法

本发明公开了一种基于悬浮微通道谐振的纳升级流量测量方法。本发明在悬臂梁中可嵌入微通道，当流体流经微通道时，其质量流量变化会导致谐振频率发生变化，一段时间后，通道内充满流体且流动稳定，则谐振频率就会稳定；在微通道上游安装一小气泵，控制气泵产生一个固定大小气泡，该气泡会随着流体流动，在流经微通道的过程中，谐振频率会随着气泡在通道内的位置不同发生变化，直到气泡流出微通道。通过观察标准气泡从微通道流入到流出这段时间内谐振频率变化所需要的时间，该时间为气泡通过一定长度的微通道的时间，从而获得流动速度，进而得到流体的流量。本发明可以根据使用场景选择相适应的悬臂梁谐振结构实现对微小流量的高精度测量。