摘要
本发明公开了一种集成电路芯片封装加工装置,属于芯片封装技术领域,包括固定台、定位固定总成、定心组件和驱动结构,定位固定总成和定心组件均设置在固定台上,所述定心组件用于对封装底座定位,所述定位固定总成用于对封装底座固定,所述驱动结构分别与定位固定总成和定心组件相连接。本发明通过设置定位固定总成、定心组件和驱动结构,能够在夹紧时利用机械式的夹块方式推动封装底座进行定心,并且在松开夹块的同时,定位固定总成能够对封装底座产生负压吸附,切换到气压吸附式的固定方式,进而能够有效的兼顾机械式夹紧的定心准确度和气压吸附式的便捷操作性,有效解决了目前传统封装装置对封装底座的定位精度有限的问题。
技术关键词
集成电路芯片
定心组件
封装底座
弹性复位结构
驱动结构
负压腔
工作台
升降板
通气管
活塞块
弧形滑块
减速器
弧形滑槽
导向滑块
芯片封装技术
螺纹杆
锥齿轮
导向滑槽
导向杆
阀球