一种基于双频激光干涉仪的非线性误差的改进型蒙特卡罗模拟及动态补偿方法

本发明提供的是一种基于双频激光干涉仪的非线性误差的改进型蒙特卡罗模拟及动态补偿方法。所述方法为：通过构建包含一阶、二阶周期性误差的多参数解析模型，结合蒙特卡罗模拟对偏振轴非正交性、光束椭圆化、光学组件传输系数等误差源的概率分布进行联合采样，量化误差的统计特性。通过频谱分析提取误差频率与幅值，设计动态校正算法实时调整干涉仪参数，结合实验验证形成闭环校正系统。本发明与使用传统相位测量电子设备收集的位置信号的傅立叶变换确定的周期性误差幅度之间具有良好的一致性。本发明可用于于一阶和二阶周期性误差的幅值计算及不确定性分析，并提供测量系统优化所需的关键参数，显著提升位移测量精度至亚纳米级，适用于半导体制造、超精密机床校准及引力波探测等高精度场景。