一种激光钙钛矿电池刻蚀质量在线检测方法和系统

本发明公开了一种激光钙钛矿电池刻蚀质量在线检测方法和系统，采用双相机交替工作模式，在激光加工头X方向两侧安装高分辨率CCD相机组件，消除运动方向遮挡，将CCD相机组件的亚微米级光学成像结合图像处理算法进行刻线质量分析，提出局部自适应阈值分割，使用Otsu法自适应计算二值化阈值，再使用形态学开运算去除无关信息，然后使用寻边逻辑算法寻找到刻线两条边缘，最后拟合出两条边缘+一条中线，通过这三条线来进行刻线质量分析，并通过检测刻线质量进行实时功率调整、位置校准、标记缺陷位置，高分辨率光学检测系统计算速度快，可以在加工的同时进行检测，实现“加工‑检测‑修正”闭环控制。