摘要
本发明属于半导体芯片加工领域,尤其涉及一种半导体芯片加工用的自动摇盘取放料设备。一种自动取放料和定位的半导体芯片加工用的自动摇盘取放料设备,包括有安装板、第一电动轨道、滑动板、弧形轨道等;安装板前侧中部通过螺栓上下对称设置有第一电动轨道,第一电动轨道的滑块之间通过螺栓固定滑动板,滑动板通过螺栓水平安装有弧形轨道,弧形轨道上滑动连接有摆臂。本发明通过摆臂转动的不同角度,可以实现取料、加工和放料三个功能,并且在取料的过程中,放料机构可以自动的将物料放下,通过定位机构和自动撑开机构的配合,对物料进行自动定位,无需人工干涉,在物料加工完毕后,自动撑开机构自动将物料松开,同时推料机构将物料顶起。
技术关键词
半导体芯片
物料框
弧形轨道
撑开机构
安装板
摆臂
微型气泵
滑动板
铰接板
双轴电机
伸缩气缸
夹板
放料机构
插板
旋转电机
推料机构
取料机构
气囊
丝杆