一种晶圆上料装置及操作方法

本发明公开了一种晶圆上料装置及操作方法，具体涉及晶圆上料技术领域，包括设备主体、机械臂、机械手和调节装置，机械手的端面上设置有多个吸盘组，每个吸盘组包括多个吸盘，调节装置包括设置在机械手的内部的调节件，调节件内部设置有多个调节单元，每个调节单元包括至少两个第一通孔，每相邻的两个第一通孔共同连通有第一管道，每个第一管道内部设置有调节板，多个调节单元共同连通有第二管道，第二管道内部设置有调节板，本发明通过调节各个第一通孔以及第三管道之间的真空度，从而使得各个吸盘组以及吸盘对晶圆的吸附力相同，防止由于吸盘对晶圆的吸附力不均匀造成晶圆翘曲或损坏的现象。