针对半导体磁芯制备的温控优化方法、系统及设备

本发明提供了一种针对半导体磁芯制备的温控优化方法、系统及设备，涉及半导体磁芯制备领域，方法包括：根据高温炉的温度分区结果配置温度监测阵列；在半导体磁芯烧结过程中，通过温度监测阵列进行定期监测，获取若干个温度数据序列；根据若干个温度数据序列预测获取若干个磁芯烧结信息；根据若干个磁芯烧结信息配置退火温控方案，基于温度分区结果进行退火温度分区控制。旨在解决传统半导体磁芯制备过程中存在退火控制精准度不足、温控响应滞后的技术问题；通过精准温度监测与分区控制，可以提高退火过程的温度均匀性和稳定性，从而优化磁芯的性能和一致性，降低缺陷率，并提高生产效率和能效。