一种晶圆超声场的数字检测系统及其方法

本发明涉及半导体检测技术领域，公开了一种晶圆超声场的数字检测系统及其方法，其中，一种晶圆超声场的数字检测方法包括：配置声学拓扑绝缘体耦合系统，构建无散射声波传输通道；构建异质超表面声场调控系统，获取深度维度信息；应用声学全息补偿算法，消除弯曲区域成像畸变，输出补偿后的声场分布；执行相位恢复与环形重建算法，实现边缘区域高质量三维成像；实现自适应耦合调整系统，根据实时监测的边缘反射信号质量自动调整耦合材料特性；本发明通过声学拓扑绝缘体耦合系统构建无散射声波传输通道，有效解决了边缘区域声波散射严重的问题，使晶圆边缘区域的检测灵敏度有所提高，缺陷漏检率从传统方法的有所降低，提升了晶圆检测的完整性。