一种射频匹配方法、射频匹配器以及计算机可读存储介质

发明公开了一种射频匹配方法、射频匹配器及存储介质，用于解决匹配死区及时间过长问题。通过负载状态感应器检测负载阻抗，阻抗调节网络调节输入阻抗，包含可调电容C1、C2；基于反射系数Γ模平方构建损失函数L，计算梯度并迭代调整电容参数。主控模块驱动真空电容连续调节，结合梯度下降算法动态优化，消除传统查表法的离散限制与死区，适应脉冲模式微秒级快速匹配，抑制射频过冲。本发明提升了动态负载(如等离子体)下的匹配精度与速度，兼顾复杂工艺稳定性，适用于半导体刻蚀等工艺过程。