光散射及影像识别双重法超纯水颗粒监测系统及方法

本发明涉及超纯水颗粒监测技术领域，公开了一种光散射及影像识别双重法超纯水颗粒监测系统及方法。该系统包括光散射检测模块、影像识别检测模块、双流道并行采样模块、多模态数据融合模块和动态反馈控制模块。光散射检测模块检测大颗粒，影像识别检测模块检测小颗粒，双流道并行采样分别为两者提供稳定水样环境。多模态数据融合模块融合数据生成全粒径颗粒分布图谱，动态反馈控制模块据此调整检测参数。该发明实现全粒径精准监测，提高了监测精度、稳定性和可靠性，能自适应优化检测参数，广泛适用于电子芯片制造、生物医药等行业，有效保障超纯水水质。