摘要
本发明涉及显示芯片技术领域,公开了一种具有多层微透镜结构的MicroLED芯片及其制备方法,具有多层微透镜结构的MicroLED芯片包括驱动基板、发光层和微透镜结构,微透镜结构设置在外延层顶部出光口处,微透镜结构包括至少两层透镜,微透镜结构中透镜材料的折射率自内向外依次递减,本发明通过在发光单元出光口处设置多层微透镜结构,利用多材料折射率匹配,减少内部全反射,提高光效,提升亮度,同时减小了出光角度,减少光能浪费,功耗下降。
技术关键词
多层微透镜结构
驱动基板
电极过渡层
透镜材料
芯片
反光层
发光单元
金属触点
外延片衬底
光刻胶
多层透镜
发光层
ITO膜
蚀刻
显示基板