氮化硅基光学陀螺用集成芯片、光学陀螺及其工作方法

本发明公开了氮化硅基光学陀螺用集成芯片、光学陀螺及其工作方法，属于光电集成领域，包括集成于同一S iO2基板上且沿光传播的方向依次布置的宽谱光源管芯、起偏器、分束器、相位调制器、模斑转换器和光电探测器，分束器、起偏器、相位调制器与模斑转换器均由S i N波导构成，从而实现分束器、起偏器、相位调制器与模斑转换器之间依次经S i N波导光互联。采用上述氮化硅基光学陀螺用集成芯片、光学陀螺及其工作方法，通过高度集成、多波段兼容、高性能组件、三轴同步测量以及可靠的系统设计，显著提升了光学陀螺的性能和应用范围，其高集成度、高精度和高可靠性使得该设计在惯性导航、飞行器姿态控制等关键领域具有重要价值。