摘要
本发明涉及半导体激光器技术领域,具体为一种基于顶部金属光栅的DFB激光器,包括:增益芯片,所述增益芯片左端面镀设有高反射HR膜,所述增益芯片右端面镀设有抗反射AR膜;所述增益芯片上端面设置有背脊光波导,所述背脊光波导上端面设置有金属布拉格反射光栅层。本发明采用自外差干涉法(本地振荡器线宽<500Hz),3dB线宽实测值为50Hz(传统DFB为125kHz)。通过Lorenzian拟合展宽因子1.15验证了模式纯净度;本发明在‑40℃至85℃范围内,经过温补电路补偿后,波长漂移<0.05pm/℃。温度调谐系数为0.08pm/℃,电流调谐系数为0.05pm/mA,调谐覆盖范围为1530‑1545nm。
技术关键词
金属光栅
反射光栅
布拉格
光波导
AR膜
量子阱结构
半导体激光器技术
芯片
外差干涉法
温补电路
双层结构
反射率
波长
振荡器
电子束
光刻
因子
模式