一种基于多方向正交横向剪切干涉的非球面波前检测装置及方法

本发明涉及一种基于多方向正交横向剪切干涉的非球面波前检测装置及方法。本发明装置由激光器、线性偏振片、分光元件、反射镜阵列、二维正交光栅阵列、分光系统、偏振移相元件、CMOS相机构成。本发明的方法包括首先包括反对称延拓方法，其次采用动态相位恢复与畸变补偿，引入‌Zernike多项式局部拟合‌，针对非球面边缘区域的高阶像差（如彗差、三叶像差）进行自适应补偿‌。本发明通过单次测量即可获取多方向正交横向剪切干涉图，通过算法与硬件的协同，为非球面光学元件的精密检测提供了高精度、高效率、强鲁棒性的解决方案‌。适用于光学检测、显微成像等领域的高精度相位恢复，适用于离轴非球面、自由曲面等复杂光学元件的高精度动态检测。