一种全石英双轴谐振式加速度计芯片结构

本发明涉及加速度计芯片，为解决现有加速度计芯片的环境适应性、密封性和稳定性较差等问题，提出一种全石英双轴谐振式加速度计芯片结构，包括安装基座、上壳体和下壳体，上壳体内的安装基座上表面设置有谐振芯片，谐振芯片上设置有密封罩；下壳体内的安装基座下表面设置有谐振电路；谐振芯片包括芯片安装板和设置在芯片安装板上的四个质量块，四个质量块分别两两沿芯片安装板的中心对称设置；每个质量块上均粘贴有谐振梁，每个质量块相对两侧的边沿处均设置有推挽支撑结构；与每个谐振梁两端相对应位置处的安装基座和谐振电路上均设置有通孔，通孔内贯穿有接线柱，各个接线柱的一端均穿过安装基座与谐振梁连接，另一端穿过谐振电路向下延伸。