一种全自动真空无氧烤箱

本发明提供了一种全自动真空无氧烤箱，属于晶圆加工技术领域，它解决了现有晶圆烤箱上下料、加热烘烤效率低；自动化程度低等技术问题。本全自动真空无氧烤箱，包括烤箱框架组件、EFEM框架组件和两个真空泵组件及四个等距均布的晶圆装载机，烤箱框架组件的内部设有四个腔体组件和四个自动门组件，EFEM框架组件的内部设有机器人移栽组件和机控箱，EFEM框架组件的左侧设有主控机，腔体组件分别与同侧的真空泵组件之间通过抽气管道连接，腔体组件连接外部高纯氮气源。本发明全程通过多传感器协同、机械联动及气液冷却系统，实现晶圆在无氧、高精度温控环境下的全自动的稳定抓取装片、抽真空处理、加热、恒温工艺烘烤处理、双模式冷却和取片处理。