摘要
本发明公开了一种晶圆级高功率芯片测试分选机,涉及半导体设备技术领域,其中,晶圆级高功率芯片测试分选机包括:机架、安装于机架的上料单元、测试单元、下料单元;测试单元包括测试座模块、能够驱动测试座模块移动的第一驱动组件、多个测试模块,测试座模块相对于机架设有接料位和出料位,于接料位,上料单元能够将物料传输至测试座模块,于出料位,下料单元能够将物料从测试座模块中取出,多个测试模块设于测试座模块由接料位移动至出料位的路径中;多个测试模块均能够通过测试座模块依次与物料电连接,以对测试座模块中的物料测试。本发明提供的技术方案能够解决芯片在测试过程中损耗增大的问题。
技术关键词
芯片测试分选机
测试座
转塔组件
矫正组件
高功率
上料
座体组件
驱动件
测试模块
锁定组件
驱动组件
编带
卡扣
圆盘
机架
半导体设备
伸缩件
解锁