一种基于模糊知识引导扩散演化的晶圆制造方案生成方法

本发明公开了一种基于模糊知识引导扩散演化的晶圆制造方案生成方法，包括：1、利用已有一定数量的晶圆方案，基于已有的专家和相关文献知识并结合大模型扩充初始方案数量，2、利用已经扩充的初始方案经过扩散演化探索更多优质的方案可能并提供候选方案。本发明能基于已有的少样本晶圆制造方案经过专业知识扩充以及扩散演化，从而能提供更多的晶圆制造候选方案，并确保晶圆制造过程的稳定性和高效性。