摘要
本申请提供一种光谱芯片的制备方法及光谱芯片。光谱芯片的制备方法包括:获取基底,所述基底上具有本体层,所述本体层包括感光层和电路层,所述感光层包括感光单元;在所述本体层背离所述基底的一侧构筑保护层;在所述保护层背离所述本体层的一侧构筑滤光层,所述滤光层包括滤光单元,所述滤光单元与所述感光单元一一对应;在所述滤光层背离所述保护层的一侧构筑聚光层。本申请的光谱芯片的制备方法,简化了在电路层处构筑导光阱的工艺步骤,有效的简化了光谱芯片的制备工艺,且有利于提高光谱芯片的层间粘合度。
技术关键词
滤光
芯片
保护膜
电路
基底
氧化钇材料
氧化镱
金刚石材料
聚光
干法工艺
掩膜
通孔