压电式快速倾斜镜动态迟滞非线性抑制方法及控制装置

压电式快速倾斜镜动态迟滞非线性抑制方法及控制装置，克服了压电式快速倾斜镜在补偿迟滞非线性时对迟滞模型依赖的问题，属于迟滞非线性补偿和控制领域。本发明包括：将实时采集输入电压x输入校正环节，校正环节的输出输入至快速倾斜镜，快速倾斜镜输出角度y；输入不同频率点的x，调整校正环节系数，使得x和y相位一致，确定校正环节系数的数值，进一步计算所有频率点对应的校正环节的频率增益和相位偏移；确定超前相位补偿器的形式，利用所有频率点对应的频率增益和相位偏移对超前相位补偿器中的参数进行辨识，利用辨识出参数后的超前相位补偿器替换校正环节，对压电式快速倾斜镜进行动态迟滞非线性抑制。