一种远程等离子体源的出气口水管故障诊断方法

本发明公开了远程等离子体源领域内的一种远程等离子体源的出气口水管故障诊断方法，其特征在于，包括以下步骤：一：通过压差传感器实时监测流动阻力压降ΔP，并通过红外热像仪采集局部温度分布数据ΔT，同时通过电容式湿度传感器监测环境湿度变化ΔR；二：基于卡尔曼滤波算法将ΔP、ΔT、ΔR数据融合，得到压降、温度及湿度的状态估计值；三：构建结垢/堵塞目标函数M和泄漏目标函数N；四：当M超过第一阈值M1时判定为结垢，超过第二阈值M2时判定为堵塞；当N超过泄漏阈值N1时判定为微泄漏。该出气管道故障诊断方法通过多传感器协同监测（压差、温度、湿度）与卡尔曼滤波数据融合，实现结垢、堵塞及泄漏的精准识别。