摘要
本发明提供了一种涂布模头参数优化方法。该涂布模头参数优化方法包括:S1:获取涂布模头的结构参数;S2:根据结构参数建立涂布模头的内流场多相瞬态流场模型;S3:基于内流场多相瞬态流场模型对结构参数进行优化,并得到优选结构参数;S4:基于优选结构参数建立涂布模头的外流场多相瞬态流场模型;S5:基于外流场多相瞬态流场模型对工艺参数进行优化,并得到优选工艺参数。本发明的技术方案的涂布模头参数优化方法,能够解决采用现有技术的优化方法无法同时满足多种工艺要求,导致涂布的一致性和稳定性较差的问题。
技术关键词
参数优化方法
涂布模头
瞬态流场
响应面模型
遗传算法
仿真软件
变量
三维模型
流速
数据
尺寸
定义
垫片
因子
界面
空气
速度