可控硅芯片制作方法、可控硅芯片及电子设备

AITNT
正文
推荐专利
可控硅芯片制作方法、可控硅芯片及电子设备
申请号:CN202510647761
申请日期:2025-05-20
公开号:CN120512898A
公开日期:2025-08-19
类型:发明专利
摘要
本申请提供一种可控硅芯片制作方法、可控硅芯片及电子设备,涉及半导体技术领域。所述方法包括:提供一硅片,硅片包括相对设置的第一表面和第二表面;在第一表面形成第一硼层,在第二表面形成第二硼层;在第一硼层远离硅片的一侧形成第一铝层,在第二硼层远离硅片的一侧形成第二铝层;在第一铝层远离第一硼层的一侧形成第一屏蔽层,在第二铝层远离第二硼层的一侧形成第二屏蔽层;在第一屏蔽层远离第一铝层的一侧形成第三屏蔽层,在第二屏蔽层远离第二铝层的一侧形成第四屏蔽层;根据第一铝层和第二铝层对硅片进行扩散处理。如此,可以有效阻挡铝原子溢出,且不需要采用专业的注铝设备,从而简化了生产流程,降低了生产成本。
技术关键词
可控硅芯片 屏蔽层 硅片 淀积 P型掺杂区 扩散层 电子设备 氧化层 多晶硅 氮化硅 氧气 氮气 气体 专业
系统为您推荐了相关专利信息
1
互连结构、拼接线以及量子测控线路
带状线 弹性导体 互连结构 多条导电迹线 柔性
2
电缆工况监测系统及监测方法
电缆工况监测系统 电缆导体 监测方法 信号 监测电缆
3
一种带有RFID芯片的多层复合安全防伪标签
RFID芯片 防伪标签 防护机构 散热铜片 防腐蚀层
4
一种光敏Au@TiO2-Au NPs@R-Fe3O4微米机器人及其制备方法与在检测纳米塑料中的应用
微米机器人 离子溅射镀膜机 Fe3O4纳米颗粒 纳米塑料 手风琴
5
硅片运输装置及硅片运输方法、存储介质
硅片位置信息 硅片运输装置 机械臂单元 取放动作 运输方法
添加客服微信openai178,进AITNT官方交流群
驱动智慧未来:提供一站式AI转型解决方案
沪ICP备2023015588号