摘要
本申请提供一种可控硅芯片制作方法、可控硅芯片及电子设备,涉及半导体技术领域。所述方法包括:提供一硅片,硅片包括相对设置的第一表面和第二表面;在第一表面形成第一硼层,在第二表面形成第二硼层;在第一硼层远离硅片的一侧形成第一铝层,在第二硼层远离硅片的一侧形成第二铝层;在第一铝层远离第一硼层的一侧形成第一屏蔽层,在第二铝层远离第二硼层的一侧形成第二屏蔽层;在第一屏蔽层远离第一铝层的一侧形成第三屏蔽层,在第二屏蔽层远离第二铝层的一侧形成第四屏蔽层;根据第一铝层和第二铝层对硅片进行扩散处理。如此,可以有效阻挡铝原子溢出,且不需要采用专业的注铝设备,从而简化了生产流程,降低了生产成本。
技术关键词
可控硅芯片
屏蔽层
硅片
淀积
P型掺杂区
扩散层
电子设备
氧化层
多晶硅
氮化硅
氧气
氮气
气体
专业
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