一种基于激光器阵列的调频连续波激光雷达芯片

本发明公开了一种基于激光器阵列的调频连续波激光雷达芯片，包括：衬底、半导体激光器阵列芯片、干涉结构芯片、发射接收芯片、光子引线波导结构；半导体激光器芯片、相干探测芯片、发射接收芯片均置于衬底上；半导体激光器阵列芯片与干涉结构芯片之间、干涉结构芯片与发射接收芯片之间均通过光子引线波导结构进行耦合连接。激光器阵列芯片两端同时出光，一端作为探测光进入发射接收芯片发射至自由空间中，返回光被接收后进入干涉结构芯片，另一端作为参考光在干涉结构芯片中与返回光耦合干涉，通过光电探测器转换为电信号。本发明芯片显著减少了调频连续波激光雷达系统的尺寸、重量和功耗，提高了调频连续波激光雷达系统的扫描速率与分辨率。