一种纳米结构形貌参数的测量方法、设备、介质和产品

本发明公开了一种纳米结构形貌参数的测量方法、设备、介质和产品，涉及纳米器件测量技术领域，其技术方案要点是：根据纳米结构的形貌参数在三维方向的取值范围确定出纳米结构的形貌参数的抽样值集合，采用显微成像仿真模型对抽样值集合进行仿真，得到多张仿真通焦扫描图像；对多张仿真通焦扫描图像进行主成分分解，得到主成分矩阵和主成分系数矩阵，并建立从抽样值集合到主成分系数矩阵的回归矩阵；获取待测纳米结构的实测通焦扫描图像，根据实测通焦扫描图像和主成分矩阵建立实测主成分系数矩阵；根据回归矩阵与实测主成分系数矩阵，确定待测纳米结构形貌参数的测量结果。本发明解决了TSOM方法因数据库样本容量大，导致测量效率低的问题。