一种利用圆环双台阶板绝对测量斐索型干涉仪传递函数的方法及系统

本发明提供了一种利用圆环双台阶板绝对测量斐索型干涉仪传递函数的方法及系统，属于光学仪器测量技术领域。本发明基于提出台阶的圆环结构和相关算法，实现斐索型干涉仪所有空间频率的全口径传递函数测量能力。传统传递函数测量方法是对单一径向直线结构台阶做简单的相对测量，无法实现传递函数全口径表征并会包含参考镜面形误差，本发明提出的传递函数绝对测量方法可以有效获取圆环双台阶板绝对面形数据，提高斐索型干涉仪传递函数测量精度。本发明的圆环双台阶板通过超精密加工即可制备，具备高精度和低成本的优势。