摘要
本发明公开了一种便于上料功能的芯片蚀刻加工设备,属于芯片上料技术领域,包括有底座,底座顶端连续安装有蚀刻槽和清洗槽,蚀刻槽和清洗槽侧面均连通有带有阀门的排液管,底座上安装有上料件,上料件包括有安装框、芯片框、电动伸缩杆和推板,安装框螺纹固定在底座水平部分底端,安装框底端中心开设有下通槽,芯片框放置在安装框和底座之间,电动伸缩杆设置在安装框下方,推板固定在电动伸缩杆内的活塞杆端部,底座顶端正对下通槽的位置开设有上通槽,安装框在下通槽附近固定有定位框,底座顶端安装有驱动件,驱动件上安装有电动升降杆,电动升降杆端部安装有夹持件,通过上述方式,实现芯片的上料。
技术关键词
安装框
芯片
清洗槽
蚀刻槽
升降杆
底座
滑板
活塞杆端部
定位框
伺服电机
顶端
料件
夹持件
下滑轨
上滑轨
驱动件
螺杆
上料技术
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