一种探针卡MLO pad点位收缩设计仿真方法

一种探针卡MLO pad点位收缩设计仿真方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1，建立温度场仿真模型，并得到温度仿真结果文件，包括：步骤1.1，实测温度数据；步骤1.2，采用有限元分析法建立温度场仿真模型，使用稳态热分析模块，将腔体中的空气流体部分建模为实体空气介质，赋予该实体空气的传热系数；标定温度场仿真模型中的传热系数：传热系数A、传热系数B和传热系数C；步骤1.3，修正迭代上述传热系数A、传热系数B和传热系数C；步骤1.4，得到探针卡在指定的高温加载温度下的温度场仿真结果文件；步骤2，建立物理场仿真模型，并得到仿真pad位移量结果；步骤3，计算得到新的pad点位坐标，用于迭代生产。