一种基于叠层迭代引擎的子镜间相位误差测量系统与方法

本发明公开了一种基于叠层迭代引擎的子镜间相位误差测量系统与方法，包括第一光源、第二光源、第一透镜、第二透镜、第一二向色镜、分光镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、样品、二维平移台、第二二向色镜、第一探测器、第二探测器和反射镜。采用两种不同波长的光束照射待测目标，由待测目标返回的光束入射样品、并对样品进行横向二维重叠扫描，透过样品后形成的衍射信号由探测器同步采集；利用采集的衍射信号，通过扩展叠层迭代引擎算法重建出入射样品光信号的复振幅分布，再由复振幅分布的相位分布来获得子镜间的平移误差和子镜的倾斜误差。该方法可同时测量多个子镜的平移误差和倾斜误差，具有测量精度高、测量范围大和系统简单等优势。