基于大尺寸光斑的光栅干涉测量装置及测量方法

本发明涉及光学测量技术领域，尤其涉及基于大尺寸光斑的光栅干涉测量装置及测量方法。该装置包括光源模块，采用稳定性高的激光光源，激光光源包括波长锁定装置；准直扩束模块，光源模块连接；分光模块，采用偏振分光棱镜与λ/4波片组合结构；参考光栅模块，包括参考光栅和三维精密调节平台；测量光栅模块，包括测量光栅和自适应高度调节机构；成像模块，包括大视场远心成像透镜组和高速CMOS图像传感器；数据处理模块。本发明通过准直扩束模块实现大面积物体表面一次性测量，提高效率，减少局部干扰误差，采用稳定激光光源与合理设计模块，减少环境影响，优化光学设计降低像差，实现自动化智能化测量，提升便捷性与效率。