基于多模态语义分割模型VCSEL缺陷检测方法与系统

本发明涉及垂直腔面发射激光器（VCSEL）芯片可靠性分析领域，具体为一种基于多模态语义分割模型VCSEL缺陷检测方法与系统。解决了目前因缺陷检测流程繁琐、检测技术落后而带来的检测效率低、检测精度差的技术问题。所述系统包括用于放置VCSEL样本芯片的探针台、传送带、红外CCD、可见光CCD、可见光光源、红外光光源和计算机；红外CCD及可见光CCD的信号输出端与计算机相连接；所述计算机内置多模态图像融合算法和VCSEL多模态语义分割模型。本发明利用多模态数据训练语义分割模型，实现对VCSEL多类缺陷的精确识别和定位，提高检测精度和效率，为VCSEL的质量控制和可靠性评估提供有力支撑。