一种传播修正型夏克哈特曼波前传感器的测量装置

本发明属于光学镜面面形测量技术领域，具体为一种传播修正型夏克哈特曼波前传感器的测量装置。本发明测量装置包括：用于产生平面探测光的准直光源；用于透过探测光和反射信号光的分光棱镜；用于将反射信号光分为若干个子光束的微透镜阵列；用于接收聚焦光斑图像的光电探测器；用于固定和控制样品的夹具、滑台、步进电机驱动模块；用于重构入射到夏克哈特曼波前传感器表面的反射波前、并根据波前传播修正模型和等相位反射共轭模型复原镜面的真实面形的数据处理模块；本发明极大提高了光学镜面面形重建的精度与稳定性，提升夏克哈特曼波前传感器的稳定性与分辨能力。