一种微波等离子体化学气相沉积金刚石的气压控制方法

本发明公开了一种微波等离子体化学气相沉积金刚石的气压控制方法，具体涉及微波等离子体化学气相沉积技术领域，包括S1、光谱实时监测，S2、机器学习预测，S3、多阶段气压调控，S4、多参数协同控制，S5、气压闭环控制。本发明通过光谱实时监测结合机器学习模型，实现对最佳气压值的高精度预测，并借助多阶段气压调控与多参数协同控制策略，有效提高金刚石沉积质量，使表面平整度与结晶度显著提升，同时，精准的气压闭环控制与高效的气体流量协同，加快了沉积速度，提高了生产效率，此外，系统各模块紧密配合，保证了沉积环境稳定，降低了工艺波动，增强了整个沉积过程的稳定性和可靠性，为金刚石的高质量、高效率生产提供了有力保障。