面向新能源材料制备的高效连续化学气相沉积监测系统

本发明公开了面向新能源材料制备的高效连续化学气相沉积监测系统，涉及新能源材料制备领域，包括：在监测层运行阶段同步上传元件结构参数，元件在进行CVD过程中，基于监测层同步监测CVD环境信息，评价层运行获取监测层中监测的CVD环境信息，基于CVD环境信息评价CVD空间场各区域均衡性，识别层后置运行接收评价层中CVD空间场各区域均衡性评价结果，基于评价结果识别检测目标，对检测目标进行CVD匀称性检测，以估计元件CVD合格性；本发明通过采集元件结构参数与CVD环境中的热成像图像、气源压力流量等多维数据，基于空间场区域均衡性评价模型，综合温度、压力、流量状态及轮廓图像相似度等参数，实现了对CVD工艺过程中各区域环境均质性的动态量化评估。