一种氮化钛蚀刻液及其制备方法与应用

本发明涉及一种氮化钛蚀刻液，按照重量份计算，包括如下组分：自组装添加剂0.4‑2份；铵盐0.1‑1份；过氧化氢5‑15份；无机酸70‑90份。本发明还公开上述蚀刻液的制备方法与用途。本发明通过多酚羟基化合物和多糖类化合物组成自组装添加剂，具有低粘附性，较好的水溶性和螯合钛离子能力。多酚羟基化合物具有抗氧化能力，多糖类化合物辅助多酚羟基化合物粘附在金属表面，在金属钨表面形成致密的网状结构，实现对W Plug的保护。本发明的蚀刻液水溶性好，易冲洗，不易在金属表面有残留。