一种晶圆搬运设备及方法

本发明涉及晶圆搬运设备技术领域，尤其是指一种晶圆搬运设备及方法，包括搬运架、安装于搬运架的驱动机构、至少两个与驱动机构连接的机械臂、与机械臂末端连接并用于夹取晶圆的执行器、用于防止水渗入驱动机构的第一防水组件及用于防止水渗入执行器的第二防水组件；当进行晶圆搬运时，驱动机构带动机械臂动作以改变机械臂的位置和角度，执行器夹持到所需晶圆后，驱动机构带动机械臂动作以使得机械臂位于所需的位置和角度；本发明便于驱动机构和执行器在潮湿环境运用，满足晶圆搬运要求，提升晶圆搬运效率，降低碎片率。