一种芯片产线的废水处理设备及方法

本发明涉及废水处理技术领域，公开了一种芯片产线的废水处理设备及方法，该废水处理设备，包括单元反应罐，通过在罐体内设置多个分隔滤盘叠置，形成上下连通的多个沉淀腔，废水在各沉淀腔内反应、沉淀，沉淀物可从中心管排走，保证分隔滤盘出水的稳定，解决了多反应室的结构设计，排泥困难，易堵塞的问题，多个单元反应罐的串联应用，本发明提出的废水处理的方法，可对各单元反应罐进行pH值的差异化调节，由于每个单元反应罐均具有自动排泥的功能，以及通过流量大小控制排泥节奏的功能，克服了含氟废水、含磷废水和研磨废水的混合处理，污泥量大、出水不稳定的问题，使之满足动态化控制废水处理的要求，使用更加便捷、可靠。