一种半环飞轮固晶机及其角度纠偏方法

本发明提供了一种半环飞轮固晶机，包括工作台，所述工作台上设有龙门组件，所述龙门组件上设有半环飞轮系统，所述半环飞轮系统包括正负压集成系统、X轴横移模组、Z轴升降模组、半环飞轮DD组、半环摆臂组和摆臂，其中，所述X轴横移模组设置在所述龙门组件上，所述正负压集成系统和Z轴升降模组分别设置在所述X轴横移模组上，所述半环飞轮DD组设置在所述Z轴升降模组上。本发明还提供了一种半环飞轮固晶机的角度纠偏方法。本发明的有益效果是：提供了一种半环飞轮固晶机及其角度纠偏方法，既可以横向移动，还可以摆动式的转动，从而实现高速高精度的固晶。