一种硅棒切割方法及硅片

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一种硅棒切割方法及硅片
申请号:CN202510678497
申请日期:2025-05-26
公开号:CN120190912B
公开日期:2025-07-25
类型:发明专利
摘要
本发明属于芯片和太阳能电池硅片技术领域,具体涉及一种硅棒切割方法及硅片。加切包括依次进行的预回收步骤和加切步骤;预回收步骤的由收线轮向供线轮送线的线量为1600m~2000m,由供线轮向收线轮送线的线量为200m~400m,硅棒移动速度为40μm/min~60μm/min,线速为1100m/min‑1200m/min;加切步骤保持预回收步骤的参数设置使硅棒移动0.2mm‑2mm后,调整硅棒移动速度为20um/min‑30um/min,调整收线轮向供线轮送线的线量为2300m~2700m,调整供线轮向收线轮送线的线量为1600m~2000m,能够防止加切过程金刚线断线,提升硅片质量。
技术关键词
硅棒切割方法 线网 切割液 硅片 切割线 断线 速度 金刚线 收线轮 往复运动 芯片
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