摘要
本发明公开了一种无标记三维相干光场位移计算方法,属于光学检测技术领域,包括:获取位移前后样品的二维光场复振幅分布;对二维光场复振幅分布进行二维傅里叶变换,提取获得频谱;将频谱投影至三维Ewald球壳,在频域中对投影后的频谱进行点乘操作,然后执行三维逆傅里叶变换,生成互相关函数;根据互相关函数主峰值坐标计算三维位移量,获得位移计算结果。本发明通过Ewald球壳投影技术,避免了传统数值衍射积分中参数限制严格的问题,显著提升了z轴测量行程。相比传统的三维互相关运算方式,本发明无需对光场进行复杂的衍射积分计算,计算复杂度大幅降低,计算效率显著提高。
技术关键词
位移计算方法
光学检测技术
坐标
表达式
相移技术
投影技术
标记
干涉仪
关系
参数
复杂度
行程
波长
像素
数值
算法
频率
图像