微通孔阵列电极板及其制作方法、应用

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微通孔阵列电极板及其制作方法、应用
申请号:CN202510678817
申请日期:2025-05-26
公开号:CN120581283A
公开日期:2025-09-02
类型:发明专利
摘要
本发明涉及电气辅助部件技术领域,公开了一种微通孔阵列电极板,由权利要求1至5中的任一种制作方法制备而得,包括基板和基板上设置的微通孔阵列,每个微通孔内以及两端的基板处设置于电极导体,所述基板的厚度为30 μm至200 μm,微通孔两端的电极导体之间的厚度为40μm至300 μm,所述微通孔径为2 μm至20μm。本专利的电极板通过3D打印后金属镀膜完成。本专利通过3D打印技术配合镀膜工艺,实现微通孔阵列电极板的制作,并应用至细胞培养及电处理,实现电极板上电极的双面布线。
技术关键词
阵列电极 细胞培养方法 通孔 气相沉积方法 金属阻挡层 细胞培养芯片 辅助部件技术 沉积金属薄膜 导体 种子层 细胞培养液 光刻胶 树脂基板 光刻系统 镀膜工艺 电镀工艺 蛋白
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