摘要
本发明涉及电气辅助部件技术领域,公开了一种微通孔阵列电极板,由权利要求1至5中的任一种制作方法制备而得,包括基板和基板上设置的微通孔阵列,每个微通孔内以及两端的基板处设置于电极导体,所述基板的厚度为30 μm至200 μm,微通孔两端的电极导体之间的厚度为40μm至300 μm,所述微通孔径为2 μm至20μm。本专利的电极板通过3D打印后金属镀膜完成。本专利通过3D打印技术配合镀膜工艺,实现微通孔阵列电极板的制作,并应用至细胞培养及电处理,实现电极板上电极的双面布线。
技术关键词
阵列电极
细胞培养方法
通孔
气相沉积方法
金属阻挡层
细胞培养芯片
辅助部件技术
沉积金属薄膜
导体
种子层
细胞培养液
光刻胶
树脂基板
光刻系统
镀膜工艺
电镀工艺
蛋白