一种用于高精度设备的多维度校准装置及其校准方法

本发明提供了一种用于高精度设备的多维度校准装置，采用该装置进行校准后，其能监控位置偏移和角度偏移，校准精度高，确保了后续贴片的精准度。其包括：第一标记模块，其上表面包括有第一中心区域、以及四个第一L型图形，四个第一L型图形对应于第一中心区域的四角位置的设置，成为一正方形面域；以及第二标记模块，其上表面包括有第二仿形中心区域、以及四个第二L型图形，所述第二仿形中心区域为相对于第一中心区域的外扩图形，四个第二L型图形对应于第二仿形中心区域的四角位置的设置，成为一正方形面域。