一种抗静电半导体UV减粘层及保护膜及其制备方法

本发明涉及聚氨酯胶技术领域，且公开了一种抗静电半导体UV减粘层及保护膜及其制备方法，本发明向UV聚氨酯溶液中加入苝二酰亚胺修饰碳纳米管溶液、活性稀释剂，光引发剂，得到抗静电半导体UV减粘胶。在聚氨酯分子链中引入可UV聚合的烯基，光固化后降低了剥离强度，表现出减粘易剥离的效果。将耐高温性的苝二酰亚胺稠环引入到聚氨酯主链中，提高了胶层的耐高温性能。碳纳米管经过非共价表面修饰，提高了与聚氨酯分子链的界面作用力，在减粘胶中的分散性变好，可以促进碳纳米管形成连续的导电通路，提高了抗静电性能。该减粘胶在半导体芯片晶圆加工、耐高温胶黏剂、抗静电胶黏剂等方面有很好的实际应用。