一种基于MEMS芯片的CO气体传感器及其制备方法和应用

本发明公开了一种基于MEMS芯片的CO气体传感器及其制备方法和应用，属于气敏传感器领域。本发明提供的制备方法是将二水氯化亚锡进行改性得到Pt/SnO2纳米复合材料；将Pt/SnO2纳米复合材料加入聚偏氟乙烯和N‑甲基‑2‑吡咯烷酮的混合溶液中混合均匀得到气敏浆料；将气敏浆料涂覆在MEMS芯片的电极上，将涂覆气敏浆料的MEMS芯片进行热处理得到基于MEMS芯片的CO气体传感器。本发明制备的MEMS芯片CO传感器，对电池热失控具有秒级响应时间，能够在电池发生热失控之前，探测到微量的CO气体。