一种抑制金属反射干扰的划片机对准方法、控制装置和划片机

本申请实施例提供一种抑制金属反射干扰的划片机对准方法、控制装置和划片机，该方法包括：S1：通过偏振调制成像单元采集晶圆切割道区域的标记图像，所述偏振调制成像单元包括线偏振光源和可旋转线偏振滤光片，其中所述线偏振光源的偏振方向与晶圆表面法线方向的夹角为45°—75°；S2：在图像处理单元中，对采集的所述标记图像执行偏振差分处理，生成抑制金属反射噪声的增强图像；S3：基于所述差分图像提取标记轮廓坐标，生成切割路径补偿参数并驱动载物台对准。该方法通过偏振差分处理抑制金属反射噪声，显著提升污染环境下标记轮廓的识别精度，增强对准系统的环境适应性和可靠性。