一种晶圆加工过程传感器数据时序相似性分析方法及设备

本申请提供一种晶圆加工过程传感器数据时序相似性分析方法及设备，方法包括：晶圆加工过程传感器数据时序相似性分析方法及设备，通过获取晶圆加工过程中目标参数对应的传感器采集的时序数据；基于时序数据，分别确定参考序列和至少一个比较序列；将参考序列和至少一个比较序列分别进行无量纲化和归一化的数据预处理；对于每个比较序列，基于灰色关联分析算法计算参考序列和比较序列之间相同位置各个数据采样点的关联系数；基于各个数据采样点的关联系数，得到用于量化表示参考序列和每个比较序列之间关联性大小的关联度。本申请将FDC系统和灰色关联分析算法相结合，对传感器采集的时序数据能够自动进行时序分析，提高了分析效率和质量。