一种芯片分选方法及芯片分选系统

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一种芯片分选方法及芯片分选系统
申请号:CN202510687097
申请日期:2025-05-27
公开号:CN120527255A
公开日期:2025-08-22
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种芯片分选方法及芯片分选系统,芯片分选方法包括:提供多个晶圆,每个晶圆包括多个芯片;对芯片进行光电性能测试,记录并存储所属晶圆编号及光电性能参数;根据光电性能参数执行一次分选,将芯片划分为一级子BIN 1~一级子BIN n,分别统计芯片数量并求和,记为S1~Sn;设定第一预设值A,比较Sn与A,根据比较结果确定芯片所属一级子BIN;若Sn大于A,则一级子BIN n中的芯片归属于原一级子BIN n;若Sn小于等于A,则一级子BIN n中的芯片归属于一级集中子BIN;对于原一级子BIN n中的芯片,按BIN选取芯片至对应的蓝膜进行排列;对于一级集中子BIN中的芯片,根据芯片所属晶圆编号选取至同一蓝膜进行排列,并执行二次分选。实施本发明,提高芯片良品产出率的同时提高芯片分选效率。
技术关键词
芯片分选方法 光电性能参数 芯片分选系统 晶圆 模块 分选作业 亮度 波长 外延
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