一种高稳定性的合成波长相位解调方法

本发明属于光学测量技术领域，具体一种高稳定性的合成波长相位解调方法。本发明包括：基于三波长合成相位预处理与支路校正，通过计算二级合成波长扩展无歧义量程至毫米级；分阶段处理策略中，先利用校正后合成相位生成粗测高度轮廓，再以整数周期遍历与局部微进结合误差函数优化，实现高效候选高度筛选；最后通过多波长一致性检验剔除异常解，确保抗噪性。本方法无需依赖复杂硬件，以纯方法的设计实现大范围（几十微米级）高精度（亚纳米级）测量，满足大尺寸工件的表面轮廓检测需求，单像素处理时间降至微秒级，支持实时测量，适用于航空航天、精密制造等领域的大尺寸表面形貌检测。