摘要
本发明涉及惯性测量器件技术领域,具体公开了一种封装集成的光纤陀螺仪结构及其制造方法,包括基板和设置在基板上的光耦合芯片、光调制芯片、与光调制芯片连接的光纤环、与光耦合芯片连接的用于发出激光的激光功能镜组、光探测芯片和实现光纤陀螺仪正常工作的电路处理模块;光调制芯片采用直臂调制器,光耦合芯片包括传输波导、与光调制芯片连接的第一3dB耦合器和与激光功能镜组连接的第二3dB耦合器;光调制芯片包括上光通道、下光通道、上光通道电极组和下光通道电极组,上光通道和上光通道电极组组合,下光通道和下光通道电极组组合,本发明的目的在于提供一种封装集成的光纤陀螺仪及其制造方法,实现光纤陀螺仪的小型化和高精度。
技术关键词
光纤陀螺仪结构
芯片
准直透镜
端口
耦合器
电极组
通道
激光
光隔离器
数字输出模块
基板
平行光
电路
调制器
背光
光探测器